Get Adobe Flash player
Главная Основные направления Водоподготовка Микроэлектроника

Микроэлектроника

com008

 

ООО «БМТ» проектирует и изготавливает установки получения глубоко обессоленной воды, используемой в технологии производства электронных компонентов, полупроводниковых микроэлементов, электронных плат, жидкокристаллических дисплеев и т.д. в соответствии с технологическими требованиями к очищенной воде.

 


ГОСТ 6709-72 «Вода дистиллированная. Технические условия»;

  • ОСТ 11. 029.003 – 80. «Изделия электронной техники. Вода, применяемая в производстве. Марки, технические требования, методы очистки и контроля»;
  • D5127-90 на воду для электроники Американского общества измерений и материалов (ASTM);
  • другим отраслевым стандартам, требованиям фирм-производителей.

Удельное электрическое сопротивление очищенной воды для микроэлектроники до 18 МОм*см (деионизованная вода).

Установки  водоподготовки для микроэлектроники включают следующие узлы:

· предварительная механическая очистка

· обессоливание (одно, либо двухступенчатое) методом обратного осмоса

· Н-катионирование, ОН-анионирование

· декарбонизация и деаэрация

· фильтр со смолой смешанного действия – ФСД (либо электродеионизатор)

· другие методы и различные варианты их сочетания.